ROHS檢測儀是測試鉛Pb、鎘Cd、汞Hg、六價鉻Cr6+、多溴二苯醚PBDE、多溴聯苯PBB等幾種有害物質的儀器。是利用X射線檢測ROHS標準規定中的元素的含量。目前市場上常見的類型是X射線熒光分析儀，又分為能量色散型和波長色散型，能量色散型因其技術原理及結構比波長色散型簡單，現市場上比較常見。
ROHS檢測儀在使用時的一些基本要求及規定：
1.注意四周強磁場干擾
設備正常的工作環境，要求在沒有電機、振動、電磁、高壓或有高頻率電焊器等電磁干擾的地方安裝，否則會干擾設備的譜形或造成設備不能正常工作。
2.注意環境溫度、濕度的影響
應保持室溫20℃-25℃為宜，氣溫過高或過低都會影響設備的正常運作，所以能配有空調；空氣中相對濕度應保持＜70%，濕度過高會造成內部高壓單元產生拉弧和放電。
3.儀器測試窗口為裸露狀態時，必須保證無異物進進測試窗口內。
4.ROHS檢測儀的測試窗口下方是進口探測器的窗口，和X光管的窗口，其為超薄鈹金屬制成。為保護其不受傷害，要求如下：
①操縱時應盡可能保護窗口內無雜質進進，如有異物進進應該小心取出，或用洗耳球吹干凈；
②樣品取放應該輕拿輕放，在放樣品前，應該將測試窗口用洗耳球吹凈。
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