原子熒光光度計利用惰性氣體氬氣作載氣，將氣態氫化物和過量氫氣與載氣混合后，導入加熱的原子化裝置，氫氣和氬氣在特制火焰裝置中燃燒加熱，氫化物受熱以后迅速分解，被測元素離解為基態原子蒸氣，其基態原子的量比單純加熱砷、銻、鉍、錫、硒、碲、鉛、鍺等元素生成的基態原子高幾個數量級。

     有較低的檢出限，靈敏度高。特別對Cd、Zn等元素有相當低的檢出限，Cd可達0.001ng·cm-3、Zn為0.04ng·cm-3?，F已有2O多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強度與激發光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。干擾較少，譜線比較簡單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光分析儀。分析校準曲線線性范圍寬，可達3~5個數量級。由于原子熒光是向空間各個方向發射的，比較容易制作多道儀器，因而能實現多元素同時測定。